光学轮廓仪工作原理

在微观尺寸的测量领域，光学3D轮廓仪白光干涉仪共聚焦显微镜和台阶仪是三种高精度且广泛应用的测量仪器它们各自具有独特的优势和适用场景，能够满足不同材料和器件表面的微观特征轮廓尺寸测量需求一光学3D表面轮廓仪白光干涉仪光学3D表面轮廓仪是一种利用白光干涉原理进行非接触式测量的高精度仪器它通过分析反射光的干涉模式。

微光学器件的尺寸通常在微米到毫米级别，且表面具有纳米尺度的轮廓起伏变化3D光学轮廓仪通过利用白光的干涉和衍射现象，能够实现对微小表面高度差异的精确测量，达到纳米级别的测量精度这使得3D光学轮廓仪能够准确检测器件表面的微小高度差异，满足微光学器件对高精度测量的需求高分辨率成像 3D光学轮廓仪具。

基本原理3d光学轮廓仪是以白光干涉技术为原理的光学测量仪器其基本原理是通过不同光学元件形成参考光路和检测光路具体来说，照明光束经半反半透分光镜分为两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。

3D光学轮廓仪的基本原理是通过白光干涉技术实现非接触式样品表面形貌测量，测试步骤包括仪器准备工件放置软件设置扫描与数据分析基本原理 白光干涉技术3D光学轮廓仪利用白光干涉原理，通过不同光学元件构建参考光路和检测光路当光在不同表面反射后形成干涉条纹，这些条纹的亮度与光程差相关，从而可。

光学3D表面轮廓仪采用先进的光学原理和精密的测量技术，能够实现对物体表面的非接触式三维测量，从而满足多元超精密微观尺寸测量的需求一非接触式测量，保护精密材料 光学3D表面轮廓仪采用非接触式测量方式，避免了传统测量方法中对被测物体的直接接触，从而有效防止了对被测物体的损伤这一特点使得光学。

以下是关于Zygo NewView 9000系列3D光学轮廓仪的主要规格参数总结一核心测量性能1 垂直测量范围最大可达10mm具体取决于物镜配置2 垂直分辨率亚纳米级01nm级别，适合超精密表面形貌分析3 横向分辨率依赖物镜，最高可达05μm使用高倍物镜时二光学系统配置1 物镜。

光学轮廓仪是基于白光干涉原理而研发生产的，能以非接触的方式无损检测精密机械加工表面的光学仪器它利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量，因此也叫白光干涉仪以下是对光学轮廓仪的详细介绍一工作原理光学轮廓仪的工作原理是通过不同光学元件形成参考光路和检测光路光源发出的光经过扩束准直。

如手术刀手术钳等，确保医疗器械的卫生性能和安全性综上所述，3D光学干涉轮廓仪台阶仪和表面粗糙度仪在各自的应用领域中都发挥着重要作用，为科研生产和质量控制提供了有力的技术支持瑞塞奇精密仪器作为专业仪器提供商，致力于为用户提供高精度高稳定性的测量解决方案。

轮廓测量相关简介轮廓测量是一种重要的检测技术，它主要用于精确测量物体的形状尺寸以及表面特征以下是对轮廓测量的详细介绍一主要设备与技术 光学3D表面轮廓仪白光干涉仪用途主要用于产品微观形貌测量，特别是微观粗糙度的测量精度通常达到亚微米和纳米级别应用领域半导体晶圆加工3C。

光学轮廓仪介绍及案例分享一设备简介 光学轮廓仪是由Bruker美国生产的，型号为ContourGTK该轮廓仪利用非接触式光学干涉法测量样品表面，可对表面进行快速重复性高高分辨率的三维测量，测量范围可从亚纳米级粗糙度到毫米级的台阶高度二设备主要参数 垂直测量范围01nm至10mm垂直扫描速度。

3D轮廓测量仪是测量产品表面轮廓尺寸的仪器，根据工作原理的不同，可以分为接触式3D轮廓测量仪和非接触式3D轮廓测量仪光学轮廓仪1接触式3D轮廓测量仪通过触针在被测物体表面滑过获取表面轮廓参数，如角度处理坐标角度，与Y坐标的夹角，两直线夹角圆处理圆弧半径，圆心到圆心距离，圆心到直线的距离，交点到圆心的距离。

目前国内3D轮廓测量仪主要品牌是中图仪器，SuperView W1光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器它是以白光干涉技术为原理结合精密Z向扫描模块3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取。

在中图仪器的超精密3D光学测量仪器中，SuperViewW系列光学3D表面轮廓仪能实现01nm纵向分辨力和01%台阶测量重复性，适用于微纳结构检测VT6000系列共聚焦显微镜则能精准捕捉复杂结构的形态和尺寸，提供二维影像尺寸测量服务中图仪器超精密3D光学测量仪器配备多项创新技术，如镜头防撞保护精密双重隔振。

先进的产品实例如中图仪器的SuperViewW系列光学3D表面轮廓仪和VT6000系列共聚焦显微镜，分别以其卓越的纵向分辨能力台阶测量重复性复杂结构测量和尺寸自动计算等性能，进一步证明了这类仪器的先进性和实用性综上所述，高端制造业中的通用性超精密3D光学测量仪器是推动产业升级保障产品质量和实现精密。

浅谈接触与非接触轮廓仪的区别 轮廓度仪是测量各种机械零件素线形状和截面轮廓形状的精密设备，根据其测量方式的不同，主要分为接触式轮廓仪和非接触式轮廓仪光学轮廓仪两种类型以下是对这两种轮廓仪的详细比较一测量原理 接触轮廓仪通过将待测物体的表面滑过测针，利用测针的位移变化来获取。

由机器视觉产品资料查询平台回答，3D工业相机拍照没有辐射，3D 轮廓仪的工作原理主要是通过光学技术，如结构光激光三角测量等方法来获取物体的三维轮廓信息，激光三角测量式的轮廓仪虽然使用激光，但激光功率通常也被控制在安全范围内，只要不直接长时间照射眼睛等敏感部位，一般不会对人体产生有害影响。

2Form Talysurf#174 PGI NOVUS有20mm量程，分辨率达02nm，可对上下表面的粗糙度形状波纹度直径进行高精度测量3Luphoscan非接触式轮廓仪安全性高，测试精度好，面形精度可达50nmRMS，不过只能测量旋转对称面形4CCI HD非接触式光学3D轮廓仪RMS重复精度lt02埃，阶跃高度。