光学式轮廓仪的原理

测量模式该设备采用垂直扫描干涉和相位偏移干涉两种关键检测模式VSI模式基于光的干涉原理，适用于测量180纳米以上高度差的表面PSI模式专为亚纳米级测量设计，适用于光滑表面，但对环境条件要求较高 技术优势相较于传统台阶仪，光学轮廓仪提供更全面的检测，包括粗糙度形貌膜厚等，且非接触式测。

三维光学轮廓仪在众多领域都有广泛应用1 工业制造领域可用于精密零件的尺寸测量与表面质量检测比如汽车发动机的零部件，能精准测量其轮廓精度，检测表面是否有划痕裂纹等缺陷，确保产品质量2 半导体行业对芯片表面微观结构进行测量和分析监测芯片制造过程中的光刻图案精度，以及芯片表面平整度。

光学轮廓仪可以照局部其一，原理特性支持光学轮廓仪基于光学原理，通过测量反射光干涉光等信息来获取物体表面轮廓它具备高分辨率和高精度的测量能力，能够聚焦于局部区域进行细致测量无论是微观的表面缺陷，还是微小结构的轮廓，都能通过对局部的照射测量清晰呈现其二，实际应用广泛在半导体制造领域，需要检测芯片表面特定区域的平整度。

光学轮廓测量仪采用白光轴向色差原理性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪对样品表面进行快速重复性高高分辨率的三维测量，测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌，台阶高度，给MEMS半导体材料太阳能电池医疗工程制药生物材料，光学元件陶瓷和先进材料的研发和生产提供了一个精确。

特征点提取与轮廓重建图像处理软件提取出物体表面的特征点，这些特征点代表了物体表面的轮廓信息通过进一步的处理和计算，最终重建出物体的轮廓综上所述，表面轮廓仪通过光学三角测量法和图像处理技术这两种基本原理，能够实现对物体表面轮廓的高精度测量这两种方法各有优势，光学三角测量法具有测量速度。

轮廓仪获取物体微观与宏观形貌数据的方式有所不同微观形貌数据获取轮廓仪通常采用触针式或光学式原理触针式轮廓仪通过一个非常细小且尖锐的触针，在物体表面缓慢移动触针与表面微观起伏接触，其微小的垂直位移会转化为电信号，经过精确的放大和数据处理，就能得到物体微观表面轮廓的高度变化数据光。